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型號(hào)：Turbo-V 3K-G
特點(diǎn)：Turbo-V 3K-G（如 V 2K-G 一樣）不僅僅是一臺(tái)泵。它是專(zhuān)門(mén)為等離子濺射工藝精心設(shè)計(jì)的專(zhuān)用分子泵系統(tǒng)。其葉片級(jí)數(shù)和泵的整體結(jié)構(gòu)均經(jīng)過(guò)優(yōu)化，可以工作在高純氬氣氛圍下和溫度極高的環(huán)境中。此外，它還擁有內(nèi)置的控制器件、一體化的放空和吹掃閥以及免維護(hù)的軸承。所有這些特點(diǎn)使 Agilent Turbo-V 3K-G 渦輪分子泵成為鍍膜工業(yè)出色的解決方案。
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Turbo-V 3K-G（如 V 2K-G 一樣）不僅僅是一臺(tái)泵。它是專(zhuān)門(mén)為等離子濺射工藝精心設(shè)計(jì)的專(zhuān)用分子泵系統(tǒng)。其葉片級(jí)數(shù)和泵的整體結(jié)構(gòu)均經(jīng)過(guò)優(yōu)化，可以工作在高純氬氣氛圍下和溫度極高的環(huán)境中。此外，它還擁有內(nèi)置的控制器件、一體化的放空和吹掃閥以及免維護(hù)的軸承。所有這些特點(diǎn)使 Agilent Turbo-V 3K-G 渦輪分子泵成為鍍膜工業(yè)出色的解決方案。
特性：
1，“一體化”系統(tǒng)
2，同類(lèi)產(chǎn)品中抽速更高
3，無(wú)油、耐用、可靠
4，MTTF 超過(guò) 200000 小時(shí)
5，頂級(jí)轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)大幅度降低了重量和機(jī)械應(yīng)力
6，擁有專(zhuān)利的轉(zhuǎn)子軸配合技術(shù)可大大降低轉(zhuǎn)子拉伸應(yīng)力
7，采用了安捷倫 A-PLUS 軟件（原 T-plus）
渦輪分子泵應(yīng)用范例：
安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵，其設(shè)計(jì)旨在實(shí)際應(yīng)用中達(dá)到更高性能。泵的緊湊型設(shè)計(jì)滿(mǎn)足工業(yè)中的嚴(yán)苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護(hù)，并可避免錯(cuò)誤使用。無(wú)論您是終端用戶(hù)還是原始設(shè)備制造商，安捷倫均可針對(duì)您的應(yīng)用為您提供幫助和支持，或定制適合您的需求的系統(tǒng)
| 領(lǐng)域 | 應(yīng)用 | 詳細(xì)說(shuō)明 |
| 質(zhì)譜和分析儀器 |
|
|
| 科研中的真空應(yīng)用 |
|
|
| 工業(yè)真空加工 |
|
薄膜沉積：
設(shè)備加工：
一般工藝：
|
| 納米技術(shù)儀器 |
|
|
技術(shù)規(guī)格：
| 抽速： |
N2：2200 L/s
|
He：1900 L/s
|
Ar：2050 L/s
|
| 壓縮比： | N2：> 1 × 107 | He：6 × 103 | Ar：1 × 108 |
| 極限真空*（使用推薦的前級(jí)泵） | < 1 × 10-8 mbar | ||
| 入口法蘭 | ISO 250F | ||
| 前級(jí)管道法蘭 | KF 40 NW | ||
| 額定轉(zhuǎn)速 | 31800 rpm | ||
| 使用推薦前級(jí)泵，無(wú)氣體負(fù)載的啟動(dòng)時(shí)間 | < 6 分鐘 | ||
| 前級(jí)壓力 | < 0.5 mbar | ||
| 推薦的最小前級(jí)泵 | > 60 m3/h（取決于氣體流速要求） | ||
| 工作位置 | 任意位置 | ||
| 冷卻要求 | 水 | ||
| 重量 ISO (250) | 52 kg（114.63 磅） |
* 根據(jù)德國(guó)工業(yè)標(biāo)準(zhǔn) (DIN) 28 428。
Turbo-V 3K-G 外形圖
Turbo-V 3K-G 抽速與入口壓力關(guān)系圖
Turbo-V 3K-G 壓縮比與前級(jí)壓力關(guān)系圖
