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型號：Turbo-V 1K-G
特點：Turbo-V 1K-G 不僅是一臺泵。該裝置是專門為薄膜沉積設(shè)備精心設(shè)計的專用分子泵系統(tǒng)。其葉片級數(shù)和泵的整體結(jié)構(gòu)均經(jīng)過優(yōu)化，可以在高流速的氬氣氛圍下和溫度極高的環(huán)境中工作。另外，可通過遠程機架控制器或泵機一體式控制器來驅(qū)動泵。所有這些特點使 Agilent Turbo-V 2K-G 成為鍍膜工業(yè)出色的解決方案。
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Turbo-V 1K-G 不僅是一臺泵。該裝置是專門為薄膜沉積設(shè)備精心設(shè)計的專用分子泵系統(tǒng)。其葉片級數(shù)和泵的整體結(jié)構(gòu)均經(jīng)過優(yōu)化，可以在高流速的氬氣氛圍下和溫度極高的環(huán)境中工作。另外，可通過遠程機架控制器或泵機一體式控制器來驅(qū)動泵。所有這些特點使 Agilent Turbo-V 2K-G 成為鍍膜工業(yè)出色的解決方案。
1、為薄膜沉積應(yīng)用而專門設(shè)計的分子泵解決方案
2、極快的抽速和高氣體通量
3、耐用型的設(shè)計和高效運行的冷卻系統(tǒng)，可實現(xiàn)連續(xù)運行
4、能夠保護軸承的氣體吹掃
5、機架式 Navigator 控制器的樣品架類型
6、通用電子器件接口和操作簡單的控制軟件
7、模擬 I/O 信號和 RS232/RS485 接口（為標(biāo)準(zhǔn)Agilent Profibus 接口選項）
渦輪分子泵應(yīng)用范例
安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵，其設(shè)計旨在實際應(yīng)用中達到更高性能。泵的緊湊型設(shè)計滿足工業(yè)中的嚴苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護，并可避免錯誤使用。無論您是終端用戶還是原始設(shè)備制造商，安捷倫均可針對您的應(yīng)用為您提供幫助和支持，或定制適合您的需求的系統(tǒng)。
典型渦輪泵應(yīng)用
| 領(lǐng)域 | 詳細說明 | 應(yīng)用 |
| 質(zhì)譜和分析儀器 |
|
|
| 科研中的真空應(yīng)用 |
|
|
| 工業(yè)真空加工 |
|
薄膜沉積：
設(shè)備加工：
一般工藝：
|
| 納米技術(shù)儀器 |
|
|
技術(shù)規(guī)格
|
抽速： ISO 160： ISO 200： |
Ar：750 L/s
Ar：1040 L/s
|
N2：810 L/s
N2：1080 L/s
|
He：950 L/s/
He：1150 L/s
|
H2：680 L/s
H2：730 L/s
|
| 壓縮比： | Ar：5 × 108 | N2：5 × 107 | He：4 × 104 | H2 1.5 × 104 |
| 極限真空*（使用推薦的前級泵） | < 1 × 10-10 mbar | |||
| 入口法蘭 | ISO 160F，ISO 200F | |||
|
前級管道法蘭 ISO 160： ISO 200： |
KF 25 NW KF 40 NW |
|||
| 額定轉(zhuǎn)速 | 45500 rpm | |||
| 啟動時間 | < 5 分鐘 | |||
| 推薦的最小前級泵 | > 20 m3/h (TriScroll 600, DS 602) | |||
| 工作位置 | 任意位置 | |||
| 操作環(huán)境溫度 | +5 °C 至 +35 °C | |||
| 烘烤溫度 |
入口法蘭最高溫度 80 ℃（ISO 法蘭）
|
|||
| 振動參數(shù)（位移） |
在入口法蘭處小于 0.01 μm
|
|||
| 冷卻要求 | 水 | |||
|
電源 輸入電壓：100-240 Vac 最大運行功率： |
< 輸入頻率：50-60 Hz 使用氮氣和輕質(zhì)氣體（水冷設(shè)置）時為 400 W 使用氬氣（風(fēng)冷設(shè)置）時為 260 W |
最大輸入功率：600 VA | 待機功率：30 至 35 W | |
| 保險絲（Navigator 控制器） | 1 × 6.3 A | |||
| 串行通信（Navigator 套件） | RS232 電纜，9 針 D 型 | 外插頭和 9 針 D 型插口，以及 Navigator 軟件（可選） | ||
| 儲存溫度 | -20 °C 至 +70 °C | |||
| 重量 |
26.8 kg（59.1 磅）
|
|
|
|
* 根據(jù)德國工業(yè)標(biāo)準(zhǔn) (DIN) 28 428。
Turbo-V 1K-G 外形圖
Turbo-V 1K-G 抽速與入口壓力關(guān)系圖
Turbo-V 1K-G 壓縮比與前級壓力關(guān)系圖
