型號:Turbo-V 1001 Navigator
特點:Turbo-V 1001 Navigator 泵提供從 790 至 1050 L/s(視氣體而定)的抽速,并且采用 Navigator 產(chǎn)品線中先進的技術(shù)。安捷倫渦輪分子泵經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計,可以在低壓強內(nèi)實現(xiàn)高壓縮比,在大抽氣量和高前級壓強時實現(xiàn)最大的壓差。該泵無油、無污染,并且具有非常低的故障率,可以在任何位置任意角度安裝而不對材料施加應(yīng)力。
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Turbo-V 1001 Navigator 泵提供從 790 至 1050 L/s(視氣體而定)的抽速,并且采用 Navigator 產(chǎn)品線中先進的技術(shù)。安捷倫渦輪分子泵經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計,可以在低壓強內(nèi)實現(xiàn)高壓縮比,在大抽氣量和高前級壓強時實現(xiàn)高強的壓差。該泵無油、無污染,并且具有非常低的故障率,可以在任何位置任意角度安裝而不對材料施加應(yīng)力。典型的平均故障時間 (MTTF) 大于 250000 小時。渦輪分子泵的應(yīng)用范圍包括高能物理和研究、納米技術(shù)、質(zhì)譜技術(shù)、工業(yè)真空加工和半導體,并可用作掃描電子顯微鏡 (SEM) 的專用泵。
特性:
1.功耗更低、性能更佳
2.通過減少發(fā)熱而節(jié)能,并提高可靠性
3.為風冷而優(yōu)化的冷卻翅片
4.通過降低工作溫度進一步提高可靠性
5.Turbo-V 81-M MacroTorr 泵具有優(yōu)化的幾何尺寸
6.功率要求低,前級耐壓高及可承受高氣載
7.可拆卸的前級連接器
8.可連接各種前級泵
9.冷卻方式靈活(風冷或水冷)
10.采用安捷倫 A-PLUS 軟件(原 T-plus 軟件)
典型渦輪泵應(yīng)用:
安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵,其設(shè)計旨在實際應(yīng)用中達到更高性能。泵的緊湊型設(shè)計滿足工業(yè)中的嚴苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護,并可避免錯誤使用。無論您是終端用戶還是原始設(shè)備制造商,安捷倫均可針對您的應(yīng)用為您提供幫助和支持,或定制適合您的需求的系統(tǒng)。
典型渦輪泵應(yīng)用
領(lǐng)域 | 詳細說明 | 應(yīng)用 |
質(zhì)譜和分析儀器 |
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科研中的真空應(yīng)用 |
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工業(yè)真空加工 |
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薄膜沉積:
設(shè)備加工:
一般工藝:
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納米技術(shù)儀器 |
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技術(shù)規(guī)格:
抽速: |
ISO 160:
CFF 10 英寸或 ISO 200:
ISO 250:
|
N2:790 L/s
N2:950 L/s
N2:1050 L/s
|
He:820 L/s
He:870 L/s
He:900 L/s
|
H2:860 L/s
H2:900 L/s
H2:920 L/s
|
壓縮比: | ISO 160 | N2:1 × 109 | He:1 × 107 | H2:1 × 106 |
極限真空*(使用推薦的前級泵) | < 1 × 10–10 mbar (< 1 × 10–10 Torr) | |||
抽氣口法蘭 | ISO 160 ISO 200 | ISO 200-F 螺栓 | CFF 10 英寸 | ISO 250 ISO 250-F 螺栓 |
前級管道法蘭 | KF 40 | |||
轉(zhuǎn)速 | 38,000 rpm | |||
啟動時間 | 小于 4 分鐘 | |||
推薦的前級泵 | 機械:Agilent DS 402 旋渦式干泵:Agilent TS300,IDP-15 | |||
工作位置 | 任意 | |||
冷卻要求 | 強制通風或水冷 | |||
烘烤溫度 |
抽氣口法蘭最高溫度 120 °C(CF 法蘭)
抽氣口法蘭最高溫度 80 ℃(ISO 法蘭)
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振動參數(shù)(位移) | 在抽氣口法蘭處小于 0.01 μm | |||
重量 kg(磅): |
ISO 160 法蘭
ISO 200 法蘭
CF 10 英寸法蘭
ISO 250 法蘭
ISO 200-F 和 250-F 螺栓法蘭,CF 10 英寸法蘭
|
19 (41.8)
19.4 (43.0)
25.5 (54.2)
21.2 (46.6)
25.5 (54.2)
|
* 根據(jù)標準 DIN 28 428。
可選 Navigator 泵機一體控制器、½ 架裝控制器或者 PCB 控制器;
關(guān)于控制器的更多信息,請查看以下頁面。
Turbo-V 1001 Navigator 訂購詳情
Turbo-V 1001 Navigator 外形圖
Turbo-V 1001 Navigator 抽速與進氣口壓力關(guān)系
Turbo-V 1001 Navigator 壓縮比與前級壓力關(guān)系
地址: 杭州市拱墅區(qū)定海街284號 電話:13858108221 傳真:0571-88055527 手機:13858108221
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