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型號：Agilent TwisTorr 704 FS
特點：Agilent TwisTorr 704 FS 高真空渦輪分子泵采用 TwisTorr 拖動技術(shù)和安捷倫懸浮軸承，具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟性。TwisTorr 拖動技術(shù)對小分子氣體（如氫氣和氦氣）能提供高壓縮比，從而實現(xiàn)大抽氣量和高前級耐壓，進而能使用更經(jīng)濟實惠、更小型的前級泵。該技術(shù)使得轉(zhuǎn)子能采用緊湊的設(shè)計，變得高效節(jié)能，并能保持較低的工作溫度。安捷倫懸浮軸承系統(tǒng)降低了噪音和振動，并能保證穩(wěn)定的軸承工作條件，從而能延長工作壽命，最大程度減少系統(tǒng)停機時間，并能確保長時間穩(wěn)定的抽氣性能。
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Agilent TwisTorr 704 FS 高真空渦輪分子泵采用 TwisTorr 拖動技術(shù)和安捷倫懸浮軸承，具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟性。TwisTorr 拖動技術(shù)對小分子氣體（如氫氣和氦氣）能提供高壓縮比，從而實現(xiàn)大抽氣量和高前級耐壓，進而能使用更經(jīng)濟實惠、更小型的前級泵。該技術(shù)使得轉(zhuǎn)子能采用緊湊的設(shè)計，變得高效節(jié)能，并能保持較低的工作溫度。安捷倫懸浮軸承系統(tǒng)降低了噪音和振動，并能保證穩(wěn)定的軸承工作條件，從而能延長工作壽命，最大程度減少系統(tǒng)停機時間，并能確保長時間穩(wěn)定的抽氣性能。TwisTorr 704 FS 泵獨有的軸承和干式潤滑劑設(shè)計，使得泵無需泵油和維護，能夠以任意方向安裝?？蛇x擇一體式控制器或機架控制器。
特性：
創(chuàng)新的 TwisTorr 技術(shù) — 對小分子氣體的高壓縮比實現(xiàn)了高性能和小系統(tǒng)占用空間。
高前級耐壓 — 允許使用更小的前級泵，從而降低了系統(tǒng)成本和尺寸。
安捷倫懸浮軸承系統(tǒng) — 低振動、低噪音和更好的軸承工作條件可延長泵的使用壽命，從而實現(xiàn)使用維護成本優(yōu)化，最大程度減少系統(tǒng)停機時間，并保證長時間穩(wěn)定的抽氣性能。
獨有的軸承和干式潤滑劑 — 免維護、免油，實現(xiàn)任意角度安裝。
“三維”泵控制軟件使靈活性、速度和簡便性達到最大化，可在泵的操作條件下達到更好通量和壓縮性能。
典型渦輪泵應(yīng)用
安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵，其設(shè)計旨在實際應(yīng)用中達到更高性能。泵的緊湊型設(shè)計滿足工業(yè)中的嚴(yán)苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護，并可避免錯誤使用。無論您是終端用戶還是原始設(shè)備制造商，安捷倫均可針對您的應(yīng)用為您提供幫助和支持，或定制適合您的需求的系統(tǒng)。
典型渦輪泵應(yīng)用：
| 領(lǐng)域 | 詳細(xì)說明 | 應(yīng)用 |
| 質(zhì)譜和分析儀器 |
|
|
| 科研中的真空應(yīng)用 |
|
|
| 工業(yè)真空加工 |
|
薄膜沉積：
設(shè)備加工：
一般工藝：
|
| 納米技術(shù)儀器 |
|
|
性能指標(biāo)：
| 抽速： | ISO 160/CF 8 英寸 | |
|
N2 He H2 Ar |
660 L/s 640 L/s 480 L/s 625 L/s |
|
| 全轉(zhuǎn)速氣體流量（使用推薦的推薦前級泵）* | 環(huán)境溫度 (25 °C) |
水溫： (25 °C，50 L/h) |
| He |
7.9 mbar L/s 467 SCCM |
10.4 mbar L/s 615 SCCM |
| N2 |
4.3 mbar L/s 255 SCCM |
6.2 mbar L/s 367 SCCM |
| Ar |
1.5 mbar L/s 89 SCCM |
3.3 mbar L/s 195 SCCM |
| (*) 前級泵 11.6 m3/h | ||
| 壓縮比與前級耐壓關(guān)系* | ||
|
N2 He H2 Ar |
> 1E + 11 2E + 08 3E + 06 1E + 11 |
10 mbar 10 mbar 4 mbar 8.5 mbar |
| (*) 前級耐壓定義為，在水冷模式下，當(dāng)渦輪泵仍能產(chǎn)生 100 的壓縮比時的壓力 | ||
| 采用推薦前級泵時的極限真空 |
< 1 × 10-10 mbar (< 1 × 10-10 Torr) |
|
| 抽氣口法蘭 | ISO 160K，ISO 160F，CFF 8 英寸 | |
| 前級管道法蘭 | NW25（NW40 為可選附件） | |
| 推薦的前級泵 |
DS302 IDP10 IDP15 |
|
| 工作位置 | 任意 | |
| 操作環(huán)境溫度 | +5 °C 至 +35 °C | |
| 潤滑 | 永久性脂潤滑 | |
| 冷卻要求 | ||
| 風(fēng)冷 | 空氣溫度由 +5 °C 至 35 °C | |
| 水冷 |
水溫由 +15 °C 至 +25 °C 水流速最低 100 L/h |
|
|
噪音壓力級別 （全速運行時距離 1 m 處）（磅）： |
43 dB(A) |
