型號(hào):Agilent TwisTorr 304 FS
特點(diǎn):Agilent TwisTorr 304 FS 高真空渦輪分子泵采用 Twistorr 拖動(dòng)技術(shù)和安捷倫懸浮軸承,具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟(jì)性。TwisTorr 拖動(dòng)技術(shù)對(duì)小分子氣體(如氫氣和氦氣)能提供高壓縮比,從而實(shí)現(xiàn)大抽氣量和高前級(jí)耐壓,進(jìn)而能使用更經(jīng)濟(jì)實(shí)惠、更小型的前級(jí)泵。該技術(shù)使得轉(zhuǎn)子能采用緊湊的設(shè)計(jì),變得高效節(jié)能,并能保持較低的工作溫度。
市場(chǎng)價(jià):¥咨詢(xún)
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Agilent TwisTorr 304 FS 高真空渦輪分子泵采用 Twistorr 拖動(dòng)技術(shù)和安捷倫懸浮軸承,具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟(jì)性。TwisTorr 拖動(dòng)技術(shù)對(duì)小分子氣體(如氫氣和氦氣)能提供高壓縮比,從而實(shí)現(xiàn)大抽氣量和高前級(jí)耐壓,進(jìn)而能使用更經(jīng)濟(jì)實(shí)惠、更小型的前級(jí)泵。該技術(shù)使得轉(zhuǎn)子能采用緊湊的設(shè)計(jì),變得高效節(jié)能,并能保持較低的工作溫度。安捷倫懸浮軸承系統(tǒng)降低了噪音和振動(dòng),并能保證穩(wěn)定的軸承工作條件,從而能延長(zhǎng)工作壽命,最大程度縮短系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間,并能確保長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定的抽氣性能。TwisTorr 304 FS 泵獨(dú)有的軸承和干式潤(rùn)滑劑設(shè)計(jì),使得泵無(wú)需泵油和維護(hù),能夠以任意方向安裝??蛇x擇一體式控制器或機(jī)架控制器。
特性:
典型渦輪泵應(yīng)用
安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵,其設(shè)計(jì)旨在實(shí)際應(yīng)用中達(dá)到更高性能。泵的緊湊型設(shè)計(jì)滿(mǎn)足工業(yè)中的嚴(yán)苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護(hù),并可避免錯(cuò)誤使用。無(wú)論您是終端用戶(hù)還是原始設(shè)備制造商,安捷倫均可針對(duì)您的應(yīng)用為您提供幫助和支持,或定制適合您的需求的系統(tǒng)。
典型渦輪泵應(yīng)用
領(lǐng)域 | 詳細(xì)說(shuō)明 | 應(yīng)用 |
質(zhì)譜和分析儀器 |
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科研中的真空應(yīng)用 |
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工業(yè)真空加工 |
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薄膜沉積:
設(shè)備加工:
一般工藝:
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納米技術(shù)儀器 |
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性能指標(biāo)
技術(shù)規(guī)格
抽速: 使用 CFF 6 英寸或 ISO 100:使用 CFF 8 英寸或 ISO 160: |
N2:250 L/s
N2:250 L/s
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He:255 L/s
He:255 L/s
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H2:220 L/s
H2:220 L/s
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Ar:250 L/s
Ar:250 L/s
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全轉(zhuǎn)速最大氣載(使用推薦前級(jí)泵) 環(huán)境溫度 (25 °C) 水溫 (25 °C,50 L/h) |
N2:170 sccm N2:170 sccm |
Ar:110 sccm Ar:110 sccm |
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壓縮比與前級(jí)壓力關(guān)系: |
N2:> 1 × 1011 N2:> 10 mbar |
He:> 1 × 108 H2:> 10 mbar |
H2:1.5 × 106 H2:> 4 mbar |
Ar:> 1 × 1011 Ar:> 10 mbar |
極限真空*(使用推薦的前級(jí)泵) (5 m3/h) | < 1 × 10–10 mbar (< 1 × 10–10 Torr) | |||
抽氣口法蘭 |
8 英寸外徑 CFF 2.6 英寸外徑 CFF |
ISO 160 ISO 100 |
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前級(jí)管道法蘭 | KF 16 NW(KF25 — 可選) | |||
轉(zhuǎn)速 | 60000 rpm(1010 Hz 驅(qū)動(dòng)頻率) | |||
啟動(dòng)時(shí)間 | 小于 3 分鐘 | |||
推薦的前級(jí)泵 |
機(jī)械:Agilent DS 102 干泵:Agilent SH 110 |
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工作位置 | 任意 | |||
操作環(huán)境溫度 | +5 °C 至 +35 °C | |||
空氣相對(duì)濕度 | 0%–90%(無(wú)冷凝) | |||
烘烤溫度 | 抽氣口法蘭最高溫度 120 °C(CFF 法蘭)抽氣口法蘭最高溫度 80 °C(ISO 法蘭) | |||
潤(rùn)滑油 | 永久性潤(rùn)滑 | |||
冷卻要求 |
風(fēng)扇冷卻(環(huán)境溫度 5–35 C) 水冷(如果環(huán)境高于 35 ℃,需強(qiáng)制水冷) |
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冷卻水 |
最小流速: 50 L/h (0.89 GPM) |
溫度: +15 ℃ 至 +30 ℃ |
壓力: 3 至 5 bar(45 至 75 psi) |
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噪聲聲壓級(jí) | 在 1 米處,< 50 dB(A) | |||
儲(chǔ)存溫度 | -40 °C 至 +70 °C | |||
最高海拔 | 3000 m | |||
重量 kg(磅): |
泵 ISO 100:
5.5 (12.3) |
泵 CFF 6 英寸:
7.5 kg (16.5) |
泵 ISO 160:
5.7 kg (12.6) |
泵 CFF 8 英寸:
9.7 kg (20.9) |
地址: 杭州市拱墅區(qū)定海街284號(hào) 電話:13858108221 傳真:0571-88055527 手機(jī):13858108221
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