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AgilentVacIonPlus復(fù)合泵集成了鈦升華泵技術(shù)，能夠?qū)崿F(xiàn)超高真空。鈦升華泵(TSP)能夠以極高的抽速抽取活性氣體，而離子泵適用于氬氣和甲烷等非活性氣體?？梢詫SP添加到離子泵的內(nèi)部，或者將其作為一個(gè)獨(dú)立的抽氣單元。
復(fù)合泵配置適用于VacIonPlus150、300或500，并包含圓柱形低溫板、在外側(cè)或底部額外安裝的8英寸ConFlat法蘭接口以及一個(gè)安裝至該接口的TSP升華源，以額外提供高抽氣速度。
安捷倫提供兩種肽升華泵：鈦絲源和鈦球源。燈絲型TSP源在兩次升華之間可以關(guān)閉，因此可以避免氣體在高溫下逸出。球型TSP源含有更多的鈦，在需要鈦較多（例如較高的操作壓力）的條件下，可以使用更長(zhǎng)的時(shí)間。

性能指標(biāo)：

功能：  

1.活性氣體進(jìn)入到圓柱形低溫板底端并與剛沉積的鈦結(jié)合  

2.液氮將低溫板冷卻，可提高吸收過(guò)程的效率并大幅提高對(duì)水蒸氣的抽速  

3.低溫板可安裝在泵的底部或側(cè)面，當(dāng)高度有限時(shí)可靈活配置

4.還提供定制化的配置  

性能指標(biāo)：

VacIon 150 側(cè)面安裝 TSP 外形圖 

VacIon 500 側(cè)面安裝 TSP 外形圖 

VacIon 300 底部安裝 TSP 外形圖 

VacIon 500 底部安裝 TSP 外形圖

技術(shù)規(guī)格：

 抽速曲線：

性能指標(biāo)：

外形圖：

技術(shù)規(guī)格：

性能指標(biāo)：

外形圖：

性能指標(biāo)：

外形圖：

不同蒸發(fā)速率下抽速與壓力的關(guān)系：

技術(shù)規(guī)格：